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理工学部 教授

研究者リスト >> 齋藤 洋司
 

齋藤 洋司

 
アバター
研究者氏名齋藤 洋司
 
サイトウ ヨウジ
URLhttp://www.sd.seikei.ac.jp/lab/device/
所属成蹊大学
部署理工学部 システムデザイン学科
職名教授
学位工学博士(慶應義塾大学), 工学修士(慶應義塾大学)

研究キーワード

 
太陽電池 , 集積回路プロセス , エッチング , 薄膜 , センサ

研究分野

 
  • 電気電子工学 / 電子・電気材料工学 / 

経歴

 
2012年4月
 - 
現在
成蹊大学 理工学部システムデザイン学科 教授
 
2005年4月
 - 
現在
成蹊大学 理工学部エレクトロメカニクス学科(併任) 教授
 
2001年4月
 - 
2010年3月
成蹊大学 工学部電気電子工学科 教授
 
1993年4月
 - 
2001年3月
成蹊大学 工学部電気電子工学科 助教授
 
1992年4月
 - 
1993年3月
成蹊大学 工学部電気電子工学科 講師
 
1987年4月
 - 
1992年3月
豊橋技術科学大学 電気電子工学系 助手
 
1998年9月
 - 
1999年9月
ノースカロライナ州立大学 物理学科 訪問研究員
 

学歴

 
1984年4月
 - 
1987年3月
慶應義塾大学大学院博士課程 工学研究科 電気工学専攻
 
1982年4月
 - 
1984年3月
慶応義塾大学大学院修士課程 工学研究科 電気工学専攻
 
1978年4月
 - 
1982年3月
慶應義塾大学 工学部 電気工学科
 

委員歴

 
2003年6月
 - 
現在
日本材料科学会  理事
 
2012年11月
 - 
2013年4月
武蔵野市  新エネルギー活用検討委員会委員長
 
2005年7月
 - 
2009年6月
電気学会  ユビキタス志向ナノマテリアル・プロセス技術調査専門委員会
 
2003年4月
 - 
2008年3月
日本材料科学会  第2企画委員会委員長
 

受賞

 
1989年
電子情報通信学会東海支部創立50周年記念奨励賞
 

論文

 
Evaluation of spin-coated alumina passivation layer for point-contacted rear electrode passivation of silicon solar cells
R. Watanabe, T. Koyama, and Y. Saito
IEICE Trans. Electronics   E100-C(1) 101-107   2017年1月   [査読有り]
Alumina passivation films prepared by wet process for silicon solar cells using aluminum isopropoxide as a sol-gel precursor
R. Watanabe, M. Kawashima, and Y. Saito
IEICE Trans. Electronics   E100-C(1) 108-111   2017年1月   [査読有り]
Random texturing process for multi-crystalline silicon solar cells using plasmaless dry etching
T. Abe, Y. Miyasaka, R. Watanabe, and Y. Saito
J. Vacuum Science and Technology B   34(5) 051401-1-051401-7   2016年9月   [査読有り]
R. Watanabe, M. Kawashima, and Y. Saito
Thin Solid Films   590 98-102   2015年9月   [査読有り]
テクスチャ化シリコン基板上スピンコート反射防止膜の光学的特性の改善
山田拓也、眞利子岳比郎、渡邊良祐、齋藤洋司
材料の科学と工学   52(4) 125-127   2015年8月   [査読有り]

Misc

 
シリコン太陽電池の新規表面加工技術により発現する光学および電気的特性
齋藤 洋司
材料の科学と工学   52(2) 2-5   2015年2月   [査読有り][依頼有り]
結晶系シリコン太陽電池のドライエッチングによるテクスチャ形成
齋藤 洋司
機能材料   30(3) 13-17   2013年3月   [依頼有り]
Effects of a bias voltage during hydrogenation on passivation of the defects in polycrystalline silicon for solar cells
Y. Saito, H. Kohata, and H. Sano
Material Research Society Symposium Proceedings   1153 353-358   2009年12月   [査読有り]
大気圧プラズマによるガラス材料の表面処理
齋藤 洋司
静電気学会誌   33(6) 229-233   2009年6月   [査読有り][依頼有り]
プラズマレスドライエッチングによるシリコン表面処理とその光・電気変換素子作製プロセスへの応用
齋藤 洋司
Biomedical Thermology   26(4) 115-121   2007年4月   [査読有り][依頼有り]
ドライエッチング・クリーニングプロセスを科学する
齋藤 洋司
月刊ディスプレイ   10(8) 87-89   2004年8月   [依頼有り]
半導体プロセスを科学する
齋藤 洋司
炭素   212 108-109   2004年   [依頼有り]
オージェ電子分光法の原理と表面分析への応用
齋藤 洋司
材料の科学と工学   37(3) 139-144   2001年6月   [依頼有り]

書籍等出版物

 
精密加工と微細構造の形成技術-材料・プロセスの最適化、トラブル対策-
齋藤 洋司 (担当:分担執筆, 範囲:ドライエッチングによる太陽電池基板表面への微細構造形成)
技術情報協会   2013年7月   
光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御
齋藤 洋司 (担当:分担執筆, 範囲:Si太陽電池におけるSiOx反射防止膜の形成)
技術情報協会   2013年6月   
太陽電池 と 部材 の 開発・製造技術 ~構造・プロセスから見る、耐久性向上・高効率化を目指した各種事例~
齋藤 洋司 (担当:分担執筆, 範囲:各種部材から見た反射防止処理による高効率化技術)
情報機構   2010年3月   
太陽電池 革新的技術全集 2009版
齋藤 洋司 (担当:分担執筆, 範囲:欠陥パッシべーション・光閉じ込め技術による高効率化)
技術情報協会   2009年9月   
ガラスの加工技術と製品応用
齋藤 洋司 (担当:分担執筆, 範囲:ガラスの表面処理方法とその特性)
情報機構   2009年1月   

講演・口頭発表等

 
Dry texturing process for crystalline silicon solar cells [招待有り]
齋藤 洋司
Abstract Japan-Korea International Symposium on Materials Science and Technology 2015   2015年8月   
Optical properties and morphologies of spin-coated anti-reflection films on textured silicon solar cells
T. Yamada, Y. Eguchi, R. Watanabe, Y. Saito
Proc. Int. Conf. on Elec. Eng. 2015   2015年7月   
Evaluation of alumina passivation films for silicon solar cells prepared by spin-coating method
R. Watanabe, M. Kawashima, and Y. Saito
Abstract of 2015 Material Research Society Spring Meeting   2015年4月   
Surface passivation of silicon solar cells prepared by wet process [招待有り]
R. Watanabe, M. Kawashima, and Y. Saito
Japan-Korea International Symposium on Materials Science and Technology 2014   2014年11月   
Random texturing of emitter layers for multi-crystalline Si solar cells by plasmaless dry etching with chlorine trifluoride gas
Y. Saito, A. Kubota, S. Iwama, and R. Watanabe
Abstract of 2014 Material Research Society Spring Meeting   2014年4月   

担当経験のある科目

 
  • 集積回路工学 (成蹊大学)
  • 電子物性工学 (成蹊大学)
  • 半導体基礎工学 (成蹊大学)
  • 電気回路 (成蹊大学)

所属学協会

 
電子情報通信学会 , 応用物理学会 , 日本材料科学会

Works

 
ガラス状炭素のエッチング耐性
2001年
大気圧プラズマを用いたガラス基板表面の濡れ性改善
2003年
地球温暖化対策クリーニングガスの探索
1998年 - 2000年

競争的資金等の研究課題

 
マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究
日本学術振興会: 科学研究費補助金
研究期間: 2002年4月 - 2005年3月    代表者: 齋藤 洋司
半導体の表面処理に関する研究
人と環境に優しい統合化された社会システム研究基盤整備
文部科学省: 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業
研究期間: 2008年9月 - 2013年3月    代表者: 山崎章弘
多結晶半導体太陽電池におけるプラズマレスドライテクスチャー化プロセスの研究
日本学術振興会: 科学研究費補助金
研究期間: 2005年4月 - 2008年3月    代表者: 齋藤 洋司
文部科学省: 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業
研究期間: 2003年4月 - 2007年3月    代表者: 坪村太郎

特許

 
酸化膜のドライエッチング方法
2950785
ゲート絶縁膜の形成方法
3221602