理工学部 教員紹介
研究キーワード
太陽電池
, 集積回路プロセス
, エッチング
, 薄膜
, センサ
経歴
2012年4月
-
現在
成蹊大学 理工学部システムデザイン学科 教授
2005年4月
-
2018年3月
成蹊大学 理工学部エレクトロメカニクス学科(併任) 教授
2001年4月
-
2010年3月
成蹊大学 工学部電気電子工学科 教授
1993年4月
-
2001年3月
成蹊大学 工学部電気電子工学科 助教授
1992年4月
-
1993年3月
成蹊大学 工学部電気電子工学科 講師
1987年4月
-
1992年3月
豊橋技術科学大学 電気電子工学系 助手
1998年9月
-
1999年9月
ノースカロライナ州立大学 物理学科 訪問研究員
学歴
1984年4月
-
1987年3月
慶應義塾大学大学院博士課程 工学研究科 電気工学専攻
1982年4月
-
1984年3月
慶応義塾大学大学院修士課程 工学研究科 電気工学専攻
1978年4月
-
1982年3月
慶應義塾大学 工学部 電気工学科
委員歴
2012年11月
-
2013年4月
武蔵野市 新エネルギー活用検討委員会委員長
2005年7月
-
2009年6月
電気学会 ユビキタス志向ナノマテリアル・プロセス技術調査専門委員会
2003年4月
-
2008年3月
日本材料科学会 第２企画委員会委員長
受賞
1989年
電子情報通信学会東海支部創立50周年記念奨励賞
論文
Electrical evaluation of DNA stretched and immobilized between triangular-shaped electrodes
T. Himuro, S. Tsukamoto and Y. Saito
J. Electronic Materials 48(3) 1562-1567 2019年3月 [査読有り]
ゾル-ゲル法により作製したタンタル・タングステンドープ酸化バナジウム膜の電気的特性
齋藤洋司、齋藤和弘、石橋直幸、渡邊良祐
材料の科学と工学 55(6) 231-233 2018年12月 [査読有り]
Cold atmospheric-pressure nitrogen plasma induces the production of reactive oxygen and nitrogen species and apoptosis by increasing intracellular calcium in HEK293T Cells
K. Iuchi, Y. Morisada, Y. Yoshino, T. Himuro, Y. Saito, T. Murakami, H. Hisatomi
Archives of Biochemistry and Biophysics 654 136-145 2018年9月 [査読有り]
Optical and morphological properties of spin-coated triple layer anti-reflection films on textured silicon substrates
R. Watanabe, T. Mariko, and Y. Saito
IEICE Trans. Electronics E101-C(4) 299-302 2018年4月 [査読有り]
R. Watanabe, T. Koyama, and Y. Saito
IEICE Trans. Electronics E100-C(1) 101-107 2017年1月 [査読有り]
R. Watanabe, M. Kawashima, and Y. Saito
IEICE Trans. Electronics E100-C(1) 108-111 2017年1月 [査読有り]
T. Abe, Y. Miyasaka, R. Watanabe, and Y. Saito
J. Vacuum Science and Technology B 34(5) 051401-1-051401-7 2016年9月 [査読有り]
R. Watanabe, M. Kawashima, and Y. Saito
Thin Solid Films 590 98-102 2015年9月 [査読有り]
テクスチャ化シリコン基板上スピンコート反射防止膜の光学的特性の改善
山田拓也、眞利子岳比郎、渡邊良祐、齋藤洋司
材料の科学と工学 52(4) 125-127 2015年8月 [査読有り]
R. Watanabe, Y. Eguchi, T. Yamada, and Y. Saito
Int.J. Photoenergy 2015 147836 2015年2月 [査読有り]
Misc
シリコン太陽電池の新規表面加工技術により発現する光学および電気的特性
齋藤 洋司
材料の科学と工学 52(2) 2-5 2015年2月 [査読有り][依頼有り]
結晶系シリコン太陽電池のドライエッチングによるテクスチャ形成
齋藤 洋司
機能材料 30(3) 13-17 2013年3月 [依頼有り]
Effects of a bias voltage during hydrogenation on passivation of the defects in polycrystalline silicon for solar cells
Y. Saito, H. Kohata, and H. Sano
Material Research Society Symposium Proceedings 1153 353-358 2009年12月 [査読有り]
大気圧プラズマによるガラス材料の表面処理
齋藤 洋司
静電気学会誌 33(6) 229-233 2009年6月 [査読有り][依頼有り]
プラズマレスドライエッチングによるシリコン表面処理とその光・電気変換素子作製プロセスへの応用
齋藤 洋司
Biomedical Thermology 26(4) 115-121 2007年4月 [査読有り][依頼有り]
ドライエッチング・クリーニングプロセスを科学する
齋藤 洋司
月刊ディスプレイ 10(8) 87-89 2004年8月 [依頼有り]
半導体プロセスを科学する
齋藤 洋司
炭素 212 108-109 2004年 [依頼有り]
オージェ電子分光法の原理と表面分析への応用
齋藤 洋司
材料の科学と工学 37(3) 139-144 2001年6月 [依頼有り]
書籍等出版物
精密加工と微細構造の形成技術－材料･プロセスの最適化、トラブル対策－
齋藤 洋司 (担当:分担執筆, 範囲:ドライエッチングによる太陽電池基板表面への微細構造形成)
技術情報協会 2013年7月
光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御
齋藤 洋司 (担当:分担執筆, 範囲:Si太陽電池におけるSiOx反射防止膜の形成)
技術情報協会 2013年6月
太陽電池 と 部材 の 開発・製造技術 ～構造・プロセスから見る、耐久性向上・高効率化を目指した各種事例～
齋藤 洋司 (担当:分担執筆, 範囲:各種部材から見た反射防止処理による高効率化技術)
情報機構 2010年3月
太陽電池 革新的技術全集 2009版
齋藤 洋司 (担当:分担執筆, 範囲:欠陥パッシべーション・光閉じ込め技術による高効率化)
技術情報協会 2009年9月
ガラスの加工技術と製品応用
齋藤 洋司 (担当:分担執筆, 範囲:ガラスの表面処理方法とその特性)
情報機構 2009年1月
講演・口頭発表等
Development of deoxyribonuclease sensor using DNA molecules immobilized between microelectrodes
T. Himuro, S. Tsukamoto, and Y. Saito
MicroTAS 2018 2018年11月13日
A study on fabrication process of back contact solar cells using p-type silicon substrates
H. Hayashi, S. Iwama, R. Watanabe, Y. Saito
Int. Conf. on Electrical Engineering 2016 2016年7月6日
Preparation of multi-antireflection films on silicon surface by spin coating method
T. Mariko, T. Osakabe, R. Watanabe, Y. Saito
Int. Conf. on Electrical Engineering 2016 2016年7月6日
Dry texturing process for crystalline silicon solar cells [招待有り]
SAITO Yoji
Abstract Japan-Korea International Symposium on Materials Science and Technology 2015 2015年8月
Optical properties and morphologies of spin-coated anti-reflection films on textured silicon solar cells
T. Yamada, Y. Eguchi, R. Watanabe, Y. Saito
Proc. Int. Conf. on Elec. Eng. 2015 2015年7月
担当経験のある科目
集積回路工学 (成蹊大学)
電子物性工学 (成蹊大学)
半導体基礎工学 (成蹊大学)
電気回路 (成蹊大学)
所属学協会
電子情報通信学会
, 応用物理学会
, 日本材料科学会
Works
大気圧プラズマを用いたガラス基板表面の濡れ性改善
2003年
地球温暖化対策クリーニングガスの探索
1998年 - 2000年
競争的資金等の研究課題
マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究
日本学術振興会: 科学研究費補助金
研究期間: 2002年4月 - 2005年3月 代表者: 齋藤 洋司
人と環境に優しい統合化された社会システム研究基盤整備
文部科学省: 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業
研究期間: 2008年9月 - 2013年3月 代表者: 山崎章弘
多結晶半導体太陽電池におけるプラズマレスドライテクスチャー化プロセスの研究
日本学術振興会: 科学研究費補助金
研究期間: 2005年4月 - 2008年3月 代表者: 齋藤 洋司
文部科学省: 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業
研究期間: 2003年4月 - 2007年3月 代表者: 坪村太郎
経済学部 教員紹介
理工学部 教員紹介
法科大学院 教員紹介（リンク）