原田哲男

ハラダテツヲ (Tetsuo Harada)

基本情報

所属: 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所教授

学位: 博士（工学）

J-GLOBAL ID: 201801018052844104
researchmap会員ID: B000326989

研究キーワード

研究分野

エネルギー / 量子ビーム科学 /

経歴

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学歴

2003年10月 - 2007年3月

東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻博士課程後期３年の課程
2001年4月 - 2003年9月

東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻博士課程前期２年の課程
1997年4月 - 2001年3月

東北大学工学部

論文

148

Evaluation of hydrogen plasma and ion injection to the EUV photomask using high power irradiation tool at NewSUBARU

Hayato Ishida, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada

Photomask Japan 2025: XXXI Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology 30-30 2025年7月21日
Investigation of solvent effects on the distribution of resist compositions using resonant soft X-ray scattering

Kouji Kuramoto, Yuri Ebuchi, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 64(6) 2025年6月1日
Evaluation of basic behavior of acrylic polymer by EUV exposure

Yosuke Ohta, Atsushi Sekiguchi, Tadayuki Fujiwara, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe, Hiroki Yamamoto

Optical and EUV Nanolithography XXXVIII 64-64 2025年4月23日
Development of an EUV irradiation tool in hydrogen atmosphere to evaluate EUV mask absorber durability

Hayato Ishida, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 64(3) 2025年3月1日
Nanoscale Resist-Pattern Defects Clustered in the Micron Region Found by Soft X-ray Microscopy

Takeharu Motokawa, Shuhei Iguchi, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 38(2) 145-150 2025年

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MISC

200

ニュースバル多目的ビームラインBL-10における軟X線吸収分析(1)分光特性評価と軽元素標準物質のXANES測定

村松康司, 潰田明信, 原田哲男

X線分析の進歩 407-414 2012年3月

NewSUBARUの多目的ビームラインBL-10において，フロントミラーの炭素汚染を除去し，ビームラインの分光特性と軽元素標準物質のXANESを評価した．炭素汚染の除去により，CK端近傍の光強度は約11%回復した．ビームライン分光器に600 mm^-1回折格子を用いると70～180 eV領域のAlL端～SL端XANESが測定でき，1800 mm^-1回折格子では180～700 eV領域のBK端～MnL端XANESを測定できた．実用的な50 μmスリットを用いた場合，エネルギー分解能はいずれの回折格子においても数百～約2000であると推測でき，BL-10を70～700 eV領域の軟X線吸収分析に適用できることを明らかにした．
高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

豊田光紀, 山添健二郎, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美広

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 59th ROMBUNNO.18A-A4-8-1657 2012年2月29日
BL-10/NewSUBARUにおける軟X線吸収分析の環境構築(2);炭素汚染除去後の分光特性評価

潰田明信, 原田哲男, 木下博雄, 村松康司

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 25th 2012年
EUVマスク上の欠陥転写特性評価用プログラム位相欠陥の製作

山口裕也, KWON Hyuk Joo, 宇野俊之, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 25th 2012年
EUVマスク検査のための高次高調波コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡の開発

中筋正人, 中筋正人, 原田哲男, 原田哲男, 永田豊, 永田豊, 時政明史, 時政明史, 渡邊健夫, 渡邊健夫, 緑川克美, 緑川克美, 木下博雄, 木下博雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 25th 2012年
極微パタン構造計測のためのコヒーレント13nm高次高調波光源の開発 IV

永田豊, 永田豊, 永田豊, 原田哲男, 原田哲男, 中筋正人, 中筋正人, 木下博雄, 木下博雄, 木下博雄, 緑川克美

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 59th 1655-1655 2012年
EUVマスク検査のための高次高調波コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡の開発

中筋正人, 中筋正人, 時政明史, 時政明史, 原田哲男, 原田哲男, 永田豊, 永田豊, 渡邊健夫, 渡邊健夫, 緑川克美, 木下博雄, 木下博雄

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 59th 1656-1656 2012年
EUV光学素子用照射耐性評価装置の開発

江村和也, 田中祐輔, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 73rd 1531-1531 2012年
BL-10/NewSUBARUのフロントミラー洗浄と実試料の軟X線吸収分析

潰田明信, 植村智之, 原田哲男, 木下博雄, 村松康司, 村松康司

X線分析討論会講演要旨集 48th 2012年
兵庫県立大学ニュースバルBL-10における炭素材料の放射光分析環境整備

村松康司, 潰田明信, 植村智之, 原田哲男, 木下博雄

炭素材料学会年会要旨集 39th 2012年
EUV干渉露光による1X nmパタン創生

浦山拓郎, 山口裕也, 中筋正人, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 25th 2012年
半導体産業の明日を探る EUVリソグラフィ研究開発センターにおけるリソグラフィ開発

渡邊健夫, 原田哲男, 木下博雄

クリーンテクノロジー 22(6) 1-5 2012年
レジストへのEUV光照射によるin-situカーボン膜厚測定

渡邊健夫, 多田将樹, 菊池幸子, 高橋年哉, 片山和弘, 杉江紀彦, 高木勇, 原田哲男, 木下博雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 25th 2012年
高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 12th 143 2012年
コヒーレントEUVスキャトロメトリ-顕微鏡用光源としての13.5-nm高次高調波発生システムの開発

永田豊, 原田哲男, 木下博雄, 緑川克美

レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 420 1-5 2011年12月8日
EUV干渉露光によるレジストパタン形成

浦山拓郎, 福島靖之, 山口裕也, 井口貴文, 多田将樹, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

放射光 24(2) 103-104 2011年3月31日
EUV Interference Lithography for 1Xnm

渡邊健夫, 原田哲男

J.Photopolymer Sci.Technol. 23 681-686 2011年査読有り
コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるタイコグラフィーでのEUVマスクパタン像再生

原田哲男, 原田哲男, 中筋正人, 中筋正人, 木村瑛彦, 木村瑛彦, 渡邊健夫, 渡邊健夫, 木下博雄, 木下博雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 24th 2011年
BL-10/ニュースバルにおける軟X線吸収分析の環境構築(1);標準試料のBK~OK端X線吸収スペクトル

村松康司, 潰田明信, 中安佑介, 井上夏樹, 花房篤志, 天野泰至, 原田哲男, 木下博雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 24th 2011年
タイコグラフィーにおける像再生条件の最適化

木村瑛彦, 中筋正人, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 24th 2011年
コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるCD評価

中筋正人, 多田将樹, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 24th 2011年
EUV顕微鏡によるEUVマスクの白欠陥修正結果の観察

時政明史, 吉本真, 原田哲男, 天野剛, 渡邊健夫, 木下博雄

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 58th 1679-1679 2011年
コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるEUVマスクのプログラム欠陥観察

中筋正人, 中筋正人, 木村瑛彦, 木村瑛彦, 多田将樹, 多田将樹, 原田哲男, 原田哲男, 渡邊健夫, 渡邊健夫, 木下博雄, 木下博雄

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 58th 1677-1677 2011年
プラズマデブリ耐性X線ミラーの研究(II)

天野壮, 井上智章, 原田哲男

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 58th 1646-1646 2011年
極微パタン構造計測のためのコヒーレント13nm高次高調波光源の開発 III

永田豊, 永田豊, 永田豊, 原田哲男, 原田哲男, 木下博雄, 木下博雄, 木下博雄, 緑川克美

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 1135-1135 2011年
放射光軟X線吸収分析に向けたBL-10/NewSUBARUの分光特性評価

潰田明信, 原田哲男, 木下博雄, 村松康司

X線分析討論会講演要旨集 47th 2011年
コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるEUVマスク検査

中筋正人, 木村瑛彦, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2011 2011年
EUV顕微鏡によるEUVマスクの白欠陥修正結果の観察

時政明史, 吉本真, 原田哲男, 天野剛, 渡邊健夫, 木下博雄

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2011 2011年
EUV干渉露光装置を用いたレジストパタン形成

浦山拓郎, 福島靖之, 山口裕也, 井口貴文, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 58th 1682-1682 2011年
EUV照射時のコンタミ膜厚のin-situ評価

松田直大, 渡邊健夫, 原田哲男, 木下博雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 24th 2011年
EUVリソグラフィ-研究開発センターにおけるリソグラフィー開発

渡邊健夫, 原田哲男, 木下博雄

日本化学会講演予稿集 91st(1) 2011年
極端紫外線干渉露光による1X nm級レジストパタン形成

浦山拓郎, 山口裕也, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 1133-1133 2011年
極端紫外線干渉露光による1Xnm級レジストパタン形成

浦山拓郎, 山口裕也, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2011 2011年
極端紫外線干渉露光装置の開発

木村瑛彦, 阪上尚規, 福島靖之, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.1 1566-1566 2010年3月3日
極端紫外線(EUV)用ガラスマスク欠陥におけるCritical Dimensionの同定

釜地義人, 高瀬啓, 宇野俊之, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 57th 1575-1575 2010年
極端紫外線干渉露光用透過型回折格子の開発

井口貴文, 福島靖之, 坂上尚規, 釜地義人, 木村瑛彦, 山口裕也, 多田将樹, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 57th 1568-1568 2010年
多波長同時分散光学系を用いた鏡面X線反射率曲線の時分割測定法の開発

松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子, 丹羽尉博, 稲田康宏, 永野修作, 関隆広

PFシンポジウム要旨集 27th 2010年
EUV照射時のコンタミ膜厚のin-situ評価

松田直大, 渡邊健夫, 原田哲男, 木下博雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st 2010年
コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるEUVマスク上のプログラム欠陥観察結果

中筋正人, 中筋正人, 多田将樹, 多田将樹, 原田哲男, 原田哲男, 渡邊健夫, 渡邊健夫, 木下博雄, 木下博雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st 1400-1400 2010年
極端紫外線干渉露光によるレジストパタン形成

福島靖之, 山口裕也, 井口貴文, 浦山拓郎, 多田将樹, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st 1397-1397 2010年
20nm EUV干渉露光用透過型回折格子の製作

山口裕也, 福島靖之, 多田将樹, 松田直大, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st 1396-1396 2010年
コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるCD評価

原田哲男, 原田哲男, 中筋正人, 中筋正人, 多田将樹, 多田将樹, 渡邊健夫, 渡邊健夫, 木下博雄, 木下博雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st 1399-1399 2010年
薄膜構造変化の実時間追跡のためのX線反射率曲線時分割測定法の開発

羽多野忠, 松下正, 荒川悦雄, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男, 濱ノ園亮, 相原翔学

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 10th 2010年
プラズマデブリ耐性X線ミラーの研究

天野壮, 井上智章, 脇坂勇輝, 原田哲男

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st 1346-1346 2010年
EUVILにおける透過型回折格子の設計

福島靖之, 阪上尚規, 木村瑛彦, 井口貴文, 山口裕也, 多田政樹, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 57th 1567-1567 2010年
EUV光による2光束干渉露光系の開発

渡邊健夫, 木下博雄, 福島靖之, 坂上尚規, 木村瑛彦, 釜地義人, 井口貴文, 山口裕也, 多田将樹, 原田哲男

日本化学会講演予稿集 90th(1) 2010年
Ｘ線回折顕微法によるEUVマスク像再生アルゴリズムの検討

木村瑛彦, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

精密工学会学術講演会講演論文集 2010 429-430 2010年

我々はEUVマスク欠陥検査を目的として、Ｘ線回折顕微法の原理に基づくCoherent EUV Scaterometrory Microscope （CSM）を開発している。CSMは結像光学系を用いず、波長13.5 nmのコヒーレント光をマスクに直接照射して得られた散乱光をCCDで記録する。画像処理により20 nm相当のマスクを評価する。本研究では画像処理に用いられる位相回復アルゴリズムについて検討した。
Frustration of direct photoionizations of argon clusters irradiated with intense EUV-FEL pulses

H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, H. Fukuzawa, X. J. Liu, G. Pruemper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higashiya, M. Yabashi, T. Ishikawa, H. Ohashi, H. Kimura, T. Togashi

Journal of Physics: Conference Series 194(3) 2009年12月24日査読有り
軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美廣

応用物理学会学術講演会講演予稿集 70th(2) 626 2009年9月8日
軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

光学シンポジウム講演予稿集 34th 31-32 2009年7月2日

共同研究・競争的資金等の研究課題

EUV波面シンセサイザの開発と実時間・超深度ナノイメージングへの応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2019年4月 - 2022年3月

豊田光紀, 原田哲男
共鳴軟Ｘ線反射率測定によるフォトレジストの反応分布評価手法の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2019年4月 - 2022年3月

原田哲男
軟X線領域の薄膜の光学定数の精密測定

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2015年4月 - 2018年3月

木下博雄, 原田哲男, 村松康司, 渡邊健夫, 渡邊健夫, 村松康司
高感度且つ低LWRを有する1Xnm級EUVレジストの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2013年4月 - 2016年3月

渡邊健夫, 原田哲男, 木下博雄, 武藤正雄, 津野勝重
EUV 干渉露光による 20nm以下の極微細パタン形成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2010年 - 2012年

渡邊健夫, 木下博雄, 原田哲男, 塩野大寿

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産業財産権

特許6031659 短波長コヒーレント光源及び透過型の減光機構

永田豊, 原田哲男, 木下博雄
特許5846681 欠陥特性評価装置

原田哲男, 木下博雄, 臼井洋一, 渡邊健夫
特許5683236 形状測定装置

原田哲男, 木下博雄, 渡邊健夫
特願2010-192518 パタン幅測定装置

原田哲男, 木下博雄, 渡邊健夫

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