植村智之, 村松康司, 南部啓太, 福山大輝, 九鬼真輝, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄
X線分析の進歩 46 317-325 2015年
NewSUBARUの多目的ビームラインBL10において放射光軟X線分析を実現するため,軟X線吸収分光(XAS)装置を導入した.また,2400 mm-1回折格子がビームライン分光器に導入された.XAS装置を用いた標準試料のX線吸収端構造(XANES)測定から,分光器の3枚の回折格子を用いることで70~1100 eV領域において十分な分解能でXANESが得られることを示した.従前の反射率計を用いて有機薄膜試料の全電子収量XASと軟X線反射率を同時測定し,膜厚を評価した.これより,BL10において70~1100 eV領域の軟X線吸収・反射率分析が実現できることを示した.