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研究者業績

研究者リスト >> 竹内 雅耶
 

竹内 雅耶

 
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研究者氏名竹内 雅耶
 
タケウチ マサヤ
URL
所属兵庫県立大学
部署大学院 工学研究科 電子情報工学専攻
職名助教
学位博士(工学)(兵庫県立大学)
科研費研究者番号70889683
J-Global ID202101017946574558

研究キーワード

 
ナノプロセス ,微細加工 ,クラスターイオンビーム ,表面科学

研究分野

 
  • ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性 / 
  • エネルギー / 量子ビーム科学 / 放射光微細加工
  • エネルギー / 量子ビーム科学 / ナノプロセス工学

経歴

 
2021年6月
 - 
現在
東京大学 物性研究所 嘱託研究員   
 
2021年4月
 - 
現在
兵庫県立大学 大学院 工学研究科 電子情報工学専攻 助教 
 
2020年7月
 - 
2021年3月
東京大学 物性研究所 極限コヒーレント光科学研究センター 特任研究員 
 
2020年4月
 - 
2020年7月
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 非常勤研究員 
 

学歴

 
2017年4月
 - 
2020年3月
兵庫県立大学 大学院工学研究科 材料・放射光工学専攻 博士後期課程
 
2015年4月
 - 
2017年3月
兵庫県立大学 大学院工学研究科 材料・放射光工学専攻 博士前期課程
 
2011年4月
 - 
2015年3月
兵庫県立大学 工学部 電子情報電気工学科
 

委員歴

 
2023年4月
 - 
現在
電気学会  量子ビームによる機能性ミクロ構造創生とバイオメディカルシステム応用技術調査専門委員会
 
2022年4月
 - 
現在
電子情報通信学会  関西支部運営委員
 
2021年4月
 - 
2023年3月
電気学会  量子ビームによるナノ構造・界面形成とバイオメディカル応用技術調査専門委員会
 

受賞

 
2024年2月
電気学会 電子情報・システム部門 光・量子デバイス研究会, 技術委員奨励賞,GCIBエッチングを用いたSiNx膜の極薄化と液体セル電子透過窓への適用
竹内雅耶 
 
2022年5月
応用物理学会, 第52回(2022年春季)応用物理学会講演奨励賞,GCIBを用いた原子層エッチングによるSi3N4膜の極薄化及びその耐圧性評価
竹内 雅耶 藤原 怜輝 豊田 紀章 
 
2018年7月
The 9th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS, Best Presentation Award,Characteristics of new deep X-ray lithography beamline (BL11) at NewSUBARU
Masaya Takeuchi, Akinobu Yamaguchi, and Yuichi Utsumi 
 
2018年3月
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 先端技術セミナー 2018, 学生ポスター賞,汎用ディープX線リソグラフィービームライン(BL11)を用いた大面積均一加工の検討
 
2016年10月
応用物理学会 第8回集積化MEMSシンポジウム (口頭発表), 研究奨励賞,免疫測定のための高精度単位化学操作を実現するLab-on-a-CDの提案
竹内雅耶, 有末康人, 浮田芳昭, 片岡千和, 小林敏郎, 山口明啓, 内海裕一 
 

論文

 
 
Masaya Takeuchi   Noriaki Toyoda   
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms   550 165317-165317   2024年5月   [査読有り]
 
Masaya Takeuchi   Reki Fujiwara   Noriaki Toyoda   
Japanese Journal of Applied Physics   62    2023年4月   [査読有り]
Abstract

Atomic layer etching (ALE) of silicon nitride film (SiNx) was demonstrated using oxygen gas cluster ion beam (O2-GCIB) with acetylacetone (Hacac) as adsorption gas. GCIB is a beam of aggregates of several thousand atoms, enabling low da...
 
S. Hanahara   M. Takeuchi   N. Toyoda   
Japanese Journal of Applied Physics   61(SF) SF1004-SF1004   2022年6月   [査読有り]
Abstract

Surface-activated bonding (SAB) of Cu by gas cluster ion beam (GCIB) irradiation with acetic acid vapor was studied. GCIB irradiation realizes surface smoothing and surface reaction enhancement without severe damage. Therefore, it is pr...
 
Kohzo Tamada   Sho Amano   Kana Okamoto   Masaya Takeuchi   Akinobu Yamaguchi   Yuichi Utsumi   Tohru Yamasaki   
Sensors and Materials   33(12) 4455-4460   2021年12月   [査読有り]
 
Mitsuyoshi KISHIHARA   Masaya TAKEUCHI   Akinobu YAMAGUCHI   Yuichi UTSUMI   Isao OHTA   
IEICE TRANSACTIONS on Electronics   E104-C(9) 446-454   2021年9月   [査読有り]

講演・口頭発表等

 
 
Masaya Takeuchi   Satoru Suzuki   Masaki Nakamura   Takashi Hata   Yusuke Nishiuchi   Kaori Tada   Noriaki Toyoda   
MNC2023   2023年11月17日   
17C-4-2
 
Masaya Takeuchi   Noriaki Toyoda   Satoru Suzuki   
Frontier of Soft X-ray Spectroscopy for Chemical Processes in Solutions   2023年10月3日   UVSOR Facility, Institute for Molecular Science   
P07
 
竹内雅耶   鈴木哲   豊田紀章   
第84回応用物理学会秋季学術講演会   2023年9月20日   
20p-A310-9
 
M. Takeuchi   N. Toyoda   
21st International Conference on Radiation Effects in Insulators   2023年9月7日   
O-27
 
竹内雅耶   藤原怜輝   山下大晴   豊田紀章   
第69回 応用物理学会春季学術講演会   2023年3月16日   
16a-D519-13

所属学協会

 
2022年4月
 - 
現在
電子情報通信学会
2021年4月
 - 
現在
応用物理学会
2021年3月
 - 
現在
電気学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

 
 
研究期間: 2023年4月 - 2026年3月
 
クラスタービーム原子層エッチングと照射位置制御を用いた超高精度形状創成
日本学術振興会: 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
豊田 紀章 竹内雅耶 寺岡有殿 
研究期間: 2022年4月 - 2025年3月
 
溶液の高感度XPS測定用窓材料のガスクラスターイオンビームによる原子層エッチング
公益財団法人 木下記念事業団: 木下基礎科学研究基金助成
竹内雅耶 
研究期間: 2022年7月 - 2023年3月
 
ガスクラスターイオンビームによるXPS溶液測定用セルの光電子検出窓の高性能化
公益財団法人 京都技術科学センター: 研究開発助成
竹内雅耶 
研究期間: 2022年4月 - 2023年3月
 
ガスクラスターイオンビームを用いた極薄SiN膜の耐圧性向上の検討
公益財団法人 ひょうご科学技術協会: 学術研究助成
竹内雅耶 
研究期間: 2022年4月 - 2023年3月

その他

 
 
放射光科学の基礎講座・実習