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研究者業績

研究者リスト >> 井上 尚三
 

井上 尚三

 
アバター
研究者氏名井上 尚三
 
イノウエ シヨウゾウ
URL
所属兵庫県立大学
部署大学院 工学研究科
職名教授
学位工学博士(大阪大学)
J-Global ID200901074234127570

研究キーワード

 
スパッタリング ,薄膜

研究分野

 
  • ナノテク・材料 / 材料加工、組織制御 / 

経歴

 
2004年4月
 - 
現在
兵庫県立大学 工学研究科 教授 
 
2003年10月
 - 
2004年3月
姫路工業大学 工学部 教授 
 
1998年4月
 - 
2003年9月
姫路工業大学 工学部 助教授 
 
1996年10月
 - 
1998年3月
姫路工業大学 工学部 講師 
 
1987年4月
 - 
1996年9月
姫路工業大学 工学部 助手 
 

学歴

 
1984年4月
 - 
1987年4月
大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 博士後期課程
 
1982年4月
 - 
1984年3月
大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 博士前期課程
 
1978年4月
 - 
1982年3月
大阪大学 工学部 精密工学科
 

委員歴

 
2020年
 - 
現在
精密工学会関西支部  商議員
 
2012年
 - 
現在
精密工学会  超精密加工専門委員会幹事
 
2009年
 - 
現在
精密工学会  校閲協力委員
 

論文

 
 
Shozo Inoue   Naoto Morikawa   Akira Heya   Takahiro Namazu   
Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE2022, Nara)   C132   2022年11月   [査読有り]
 
森川直人   分銅亮介   部家彰   生津資大   井上尚三   
2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集   221-222   2022年9月
 
朝田昂大   大路利菜   井上尚三   
2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集   219-220   2022年9月
 
S. Kammachi   Y. Goshima   N. Goami   N. Yamashita   S. Kakinuma   K. Nishikata   N. Naka   S. Inoue   T. Namazu   
Materials   13 4490-8 pages   2020年   [査読有り]
 
Shozo Inoue   Yu Fujiwara   Najami Zahira   Naoki Umada   
Proceedings of the 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2019)   188-190   2019年7月   [査読有り]

MISC

 
 
藤井 達也   伊奈 銀之介   井上 尚三   生津 資大   
M&M材料力学カンファレンス   2015 "OS1420-430-1"-"OS1420-430-2"   2015年11月
This paper reports on two types of fabrication methods for Si nanowires (NWs) using focused ion beam (FIB), photolithography, TMAH anisotropic wet-etching, and sacrificial oxidation. Type A specimens made from silicon-on-nothing (SON) membranes ar...
 
小関 貴裕   藤井 達也   井上 尚三   生津 資大   
M&M材料力学カンファレンス   2015 "OS1419-420-1"-"OS1419-420-2"   2015年11月
Focused ion beam (FIB) is one of strong nanofabrication tools for Si and its related devices. In this study, To produce ultra-fine Si nanowires less than 50nm, we propose a new nanostructure fabrication technique using FIB and anisotropic etching....
 
小関 貴裕   Phan Hoang-Phuong   Dao Dzung Viet   井上 尚三   生津 資大   
マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2015(7) "29pm2-F-3-1"-"29pm2-F-3-2"   2015年10月
The piezoresistive effect in silicon nanowires has attracted a great deal of interest for NEWS devices. Most of the piezoresistive SiNWs reported in the literature were fabricated using the bottom up method or top down processes such as electron b...
 
井上 敬太   金築 俊介   三宅 修吾   井上 尚三   生津 資大   
年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan   2015 "J2210206-1"-"J2210206-3"   2015年9月
Sputtered multilayered films with sub-100nm thick bilayers made of titanium and silicon show self-propagating explosive reaction. The reaction has attractive characteristics, such as easy fabrication, easy activation, temperature rise up to 1000de...
 
清原 敬太   井上 敬太   井上 尚三   生津 資大   
年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan   2015 "J2210102-1"-"J2210102-5"   2015年9月
Porous nanoparticles are very attractive as a carrier for next generation drug delivery. To reliably deliver the proper amount of a drug with to the diseased part, the size and porosity of the nanoparticles should be controlled precisely. The atom...

担当経験のある科目(授業)

 
 
   
 
機械設計製図 (兵庫県立大学)
 
   
 
メカトロニクス (兵庫県立大学)
 
   
 
機械材料学 (兵庫県立大学)

所属学協会

 
 
   
 
精密工学会
 
   
 
American Vacuum Society
 
   
 
応用物理学会
 
   
 
日本金属学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

 
 
相変態を利用した2次元応力分布記録メディアとしてのステンレス薄膜
日本学術振興会: 科学研究費助成事業
井上 尚三 
研究期間: 2019年4月 - 2023年3月
 
研究期間: 2015年 - 2017年
 
研究期間: 2011年 - 2013年
 
研究期間: 2008年 - 2010年
 
研究期間: 2002年 - 2004年