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研究者リスト >> 渡邊 健夫
 

渡邊 健夫

 
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研究者氏名渡邊 健夫
 
ワタナベ タケオ
URLhttp://www.lasti.u-hyogo.ac.jp
所属兵庫県立大学
部署高度産業科学技術研究所 極端紫外線リソグラフィー研究開発センター
職名教授
学位理学博士(大阪市立大学)
J-Global ID200901004223661630

研究キーワード

 
電子デバイス・機器工学 ,応用光学・量子光工学

研究分野

 
  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器 / 
  • ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学 / 

経歴

 
 
   
 
Assistant Professor.   
 
 
   
 
Advanced Science and Technology for Industry,   
 
 
   
 
Development Lab.   
 

学歴

 
1987年4月
 - 
1990年9月
大阪市立大学 理学研究科後期博士課程 物理学専攻
 

委員歴

 
2022年
 - 
現在
兵庫県「次世代電池・半導体技術開発拠点推進協議会」  座長
 
2022年
 - 
現在
International Conference on Photopolymer Science and Technology  President
 
2021年
 - 
現在
一般社団法人 日本半導体製造協会  会員
 
2019年4月
 - 
現在
Photomask Japan  Conference chair
 
2018年
 - 
現在
International Conference on Photomask Japan  Conference Chair and Chair of the Organizing Committee
 

受賞

 
2023年4月
International Conference of Photopolymer Science and Technology, Outstanding Contributions A ward
渡邊健夫 
 
2022年7月
研究活動教員表彰, 最優秀賞
渡邊健夫 
 
2016年5月
ニュークリアサイエンス協会, ニュークリアサイエンス協会賞,放射光を利用したレジストの開発に関する研究
渡邊 健夫 
 
2013年6月
International Workshop on EUV Lithography, Best Paper Award,R&D of EUV Lithography
渡邊 健夫 
 
2008年6月
International Workshop on EUV Lithography, Best Poster Award 1st Place,EUV interference lithography employing 11-m long undulator as a light source
渡邊 健夫 
 

論文

 
 
Shinji Yamakawa   Tetsuo Harada   Takeo Watanabe   
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering   12750    2023年
Development of new EUV resists is required for next-generation EUV lithography. A resist in which a large amount of photoacid generator (PAG) is introduced into the polymer side chain has been reported as a high-resolution nonchemically amplified ...
 
Yosuke Ohta   Atsushi Sekiguchi   Shinji Yamakawa   Tetsuo Harada   Takeo Watanabe   Hiroki Yamamoto   
Journal of Photopolymer Science and Technology   35(1) 49-54   2022年12月   [査読有り]
 
Tomohito Kizu   Shinji Yamakawa   Takeo Watanabe   Seiji Yasui   Tomoyuki Shibagaki   
Journal of Photopolymer Science and Technology   35(1) 55-59   2022年12月   [査読有り]
 
Atsunori Nakamoto   Shinji Yamakawa   Tetsuo Harada   Takeo Watanabe   
Journal of Photopolymer Science and Technology   35(1) 61-65   2022年12月   [査読有り]
 
Takeo Watanabe   Tetsuo Harada   Shinji Yamakawa   
Optics InfoBase Conference Papers      2022年
The R&D of basic technologies such as mask, resist, optical element, optics. have been carried out at NewSUBARU synchrotron light facility since 1996. EUV Lithography started use in production from 2019 for 7 nm node logic devices and from 2020 fo...

MISC

 
 
中本敦啓   山川進二   原田哲男   渡邊健夫   
X線分析討論会講演要旨集   58th    2022年
 
原田哲男   渡邊健夫   
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   68th    2021年
 
吉田一輝   松尾直人   住友弘二   部家彰   山名一成   原田哲男   渡邊健夫   田部井哲夫   
生体医歯工学共同研究拠点成果報告書   2020    2021年
 
四家寛也   黒田理人   黒田理人   黒田理人   小林諒太   村田真麻   藤原康行   鈴木学   原田将真   柴口拓   栗山尚也   初井宇記   宮脇淳   宮脇淳   宮脇淳   原田哲男   山崎裕一   山崎裕一   渡邊健夫   原田慈久   原田慈久   須川成利   須川成利   
映像情報メディア学会技術報告   45(11(IST2021 8-21))    2021年
 
原田哲男   寺西信一   寺西信一   渡邊健夫   ZHOU Quan   BOGAERTS Jan   WANG Xinyang   
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)   33rd    2020年

書籍等出版物

 
 
国立研究開発法人 科学振興機構 編   2023年   
 
CMC出版   2022年   
 
文門科学教育通信 文部科学省   2022年   
 
国立研究開発法人 科学振興機構 編   2021年   
 
CMC出版   2021年   

講演・口頭発表等

 
 
 
Takeo Watanabe   
IEUVI Resist TWG Workshop 2023 (online)   [招待有り]
 
第253回フォトポリマー懇話会講演会 先端・次世代リソグラフィ技術(オンライン)   2023年4月25日   
 
第70回応用物理学会春季学術講演会シンポジウム マイクロ・ナノスケール微細加工の表面界面先端技術   
 
ニュースバルシンポジウム2023   2023年3月13日   

所属学協会

 
2023年3月
 - 
現在
日本化学会
2021年10月
 - 
現在
一般社団法人 次世代日本半導体製造協会
2000年4月
 - 
現在
高分子学会
1998年4月
 - 
現在
日本放射光学会
1991年4月
 - 
現在
日本応用物理学会

Works(作品等)

 
 
 
渡邊健夫   
1993年 - 現在
 

共同研究・競争的資金等の研究課題

 
 
軟X線領域の薄膜の光学定数の精密測定
日本学術振興会: 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
木下 博雄 原田 哲男 村松 康司 渡邊 健夫 渡邊 健夫 村松 康司 
研究期間: 2015年4月 - 2018年3月
 
高感度且つ低LWRを有する1Xnm級EUVレジストの開発
日本学術振興会: 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
渡邊 健夫 原田 哲男 木下 博雄 武藤 正雄 津野 勝重 
研究期間: 2013年4月 - 2016年3月
 
EUV 干渉露光による 20nm以下の極微細パタン形成
日本学術振興会: 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
渡邊 健夫 木下 博雄 原田 哲男 塩野 大寿 
研究期間: 2010年 - 2012年
 
極端紫外域での位相差型X線顕微鏡による表面微細構造観察
日本学術振興会: 科学研究費助成事業 基盤研究(A)
木下 博雄 渡邊 健夫 格内 敏 新部 正人 
研究期間: 2003年 - 2005年
 
薄膜堆積法によるX線光学素子用非球面形状の創製
日本学術振興会: 科学研究費助成事業 基盤研究(C)
新部 正人 渡邊 健夫 木下 博雄 
研究期間: 1999年 - 2001年

メディア報道

 
 
毎日新聞   経済特集   2022年9月   [新聞・雑誌]
 
 
MBSラジオ   こんちわコンちゃんお昼です   2021年5月   [テレビ・ラジオ番組]
 
MBSラジオ   日曜コンちゃん おはようさん   2021年5月   [テレビ・ラジオ番組]