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研究者業績

研究者リスト >> 井上 尚三
 

井上 尚三

 
アバター
研究者氏名井上 尚三
 
イノウエ シヨウゾウ
URL
所属兵庫県立大学
部署大学院 工学研究科
職名教授
学位工学博士(大阪大学)
J-Global ID200901074234127570

研究キーワード

 
スパッタリング ,薄膜

研究分野

 
  • ナノテク・材料 / 材料加工、組織制御 / 

経歴

 
2004年4月
 - 
現在
兵庫県立大学 工学研究科 教授 
 
2003年10月
 - 
2004年3月
姫路工業大学 工学部 教授 
 
1998年4月
 - 
2003年9月
姫路工業大学 工学部 助教授 
 
1996年10月
 - 
1998年3月
姫路工業大学 工学部 講師 
 
1987年4月
 - 
1996年9月
姫路工業大学 工学部 助手 
 

学歴

 
1984年4月
 - 
1987年4月
大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 博士後期課程
 
1982年4月
 - 
1984年3月
大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 博士前期課程
 
1978年4月
 - 
1982年3月
大阪大学 工学部 精密工学科
 

委員歴

 
2020年
 - 
現在
精密工学会関西支部  商議員
 
2012年
 - 
現在
精密工学会  超精密加工専門委員会幹事
 
2009年
 - 
現在
精密工学会  校閲協力委員
 

論文

 
 
Shozo Inoue   Naoto Morikawa   Akira Heya   Takahiro Namazu   
Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE2022, Nara)   C132   2022年11月   [査読有り]
 
森川直人   分銅亮介   部家彰   生津資大   井上尚三   
2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集   221-222   2022年9月
 
朝田昂大   大路利菜   井上尚三   
2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集   219-220   2022年9月
 
S. Kammachi   Y. Goshima   N. Goami   N. Yamashita   S. Kakinuma   K. Nishikata   N. Naka   S. Inoue   T. Namazu   
Materials   13 4490-8 pages   2020年   [査読有り]
 
Shozo Inoue   Yu Fujiwara   Najami Zahira   Naoki Umada   
Proceedings of the 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2019)   188-190   2019年7月   [査読有り]

MISC

 
 
伊藤 駿   森角 寿之   井上 尚三   生津 資大   
マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2013(5) 45-46   2013年11月
Self-propagating exothermic reactive films are one of attractive functional materials in MEMS field. The reactive materials with nanometer-thick multilayers consisting of light metal and transition metal possess attractive features, such as instan...
 
生津 資大   大谷 孝平   藤井 雅之   井上 尚三   
年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan   2013 "J211021-1"-"J211021-3"   2013年9月
In this paper, we focus on evaluating the adhesive strength of Ag-Sn solder-jointed single-crystal silicon (SCS) micro specimens. Exothermic reaction in Al/Ni multilayer film was used as a heat source for melting the solder film. The reaction coul...
 
藤井 達也   生津 資大   須藤 孝一   榊原 昇一   内藤 宗幸   井上 尚三   
年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan   2013 "J211016-1"-"J211016-4"   2013年9月
This paper describes the effects of specimen size, focused ion beam (FIB) damage, and ultra-high vacuum (UHV) annealing on the mechanical properties of sub-100nm-size silicon (Si) nanowires (NWs) evaluated by tensile testing. Si NWs were made from...
 
森角 寿之   生津 資大   井上 尚三   
マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2012(4) 237-238   2012年10月
In this article, a new low-temperature solder bonding technique using Al/Ni exothermic reactive film is described. Al/Ni reactive film is able to generate heat enough to melt solder film. During the reaction, the volume is definitely shrunk by 12%...
 
生津 資大   山際 裕也   吉木 啓介   井上 尚三   
M&M材料力学カンファレンス   2012 "OS1910-1"-"OS1910-3"   2012年9月
In this article, the influences of specimen size and deformation-mode on the fracture strength of single-crystal silicon (SCS) micro-beam structures are described. We have designed and developed a new materials test device that is able to apply pu...

担当経験のある科目(授業)

 
 
   
 
機械設計製図 (兵庫県立大学)
 
   
 
メカトロニクス (兵庫県立大学)
 
   
 
機械材料学 (兵庫県立大学)

所属学協会

 
 
   
 
精密工学会
 
   
 
American Vacuum Society
 
   
 
応用物理学会
 
   
 
日本金属学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

 
 
相変態を利用した2次元応力分布記録メディアとしてのステンレス薄膜
日本学術振興会: 科学研究費助成事業
井上 尚三 
研究期間: 2019年4月 - 2023年3月
 
研究期間: 2015年 - 2017年
 
研究期間: 2011年 - 2013年
 
研究期間: 2008年 - 2010年
 
研究期間: 2002年 - 2004年