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大学本部国際商経学部社会情報科学部工学研究科
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研究者業績

研究者リスト >> 井上 尚三
 

井上 尚三

 
アバター
研究者氏名井上 尚三
 
イノウエ シヨウゾウ
URL
所属兵庫県立大学
部署大学院 工学研究科
職名教授
学位工学博士(大阪大学)
J-Global ID200901074234127570

研究キーワード

 
スパッタリング ,薄膜

研究分野

 
  • ナノテク・材料 / 材料加工、組織制御 / 

経歴

12>
 
2004年4月
 - 
現在
兵庫県立大学 工学研究科 教授 
 
2003年10月
 - 
2004年3月
姫路工業大学 工学部 教授 
 
1998年4月
 - 
2003年9月
姫路工業大学 工学部 助教授 
 
1996年10月
 - 
1998年3月
姫路工業大学 工学部 講師 
 
1987年4月
 - 
1996年9月
姫路工業大学 工学部 助手 
 

学歴

 
1984年4月
 - 
1987年4月
大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 博士後期課程
 
1982年4月
 - 
1984年3月
大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 博士前期課程
 
1978年4月
 - 
1982年3月
大阪大学 工学部 精密工学科
 

委員歴

 
2020年
 - 
現在
精密工学会関西支部  商議員
 
2012年
 - 
現在
精密工学会  超精密加工専門委員会幹事
 
2009年
 - 
現在
精密工学会  校閲協力委員
 

論文

12345>
 
 
Deposition of W-C films by dual source dc magnetron sputtering
Shozo Inoue   Naoto Morikawa   Akira Heya   Takahiro Namazu   
Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE2022, Nara)   C132   2022年11月   [査読有り]
 
二源スパッタリング法によるW-C薄膜の作製
森川直人   分銅亮介   部家彰   生津資大   井上尚三   
2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集   221-222   2022年9月
 
SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜のCu薄膜上での成長相と成長形態
朝田昂大   大路利菜   井上尚三   
2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集   219-220   2022年9月
 
Cathodoluminescence Spectroscopic Stress Analysis for Silicon Oxide Film and Its Damage Evaluation
S. Kammachi   Y. Goshima   N. Goami   N. Yamashita   S. Kakinuma   K. Nishikata   N. Naka   S. Inoue   T. Namazu   
Materials   13 4490-8 pages   2020年   [査読有り]
 
Effect of deposition condition on the crystal phase of 18-8 stainless steel films prepared by dc magnetron sputtering
Shozo Inoue   Yu Fujiwara   Najami Zahira   Naoki Umada   
Proceedings of the 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2019)   188-190   2019年7月   [査読有り]

MISC

<34567>
 
 
OS1908 カソードルミネッセンスを用いたシリコン酸化膜の応力計測 : 電子線照射によるダメージの解析
五網 信貴   生津 資大   山下 直晃   市川 聡   中 庸行   柿沼 繁   西方 健太郎   吉木 啓介   井上 尚三   
M&M材料力学カンファレンス   2012 "OS1908-1"-"OS1908-3"   2012年9月
Non-contact stress evaluation is required for nano-scale devices related to LSI and MEMS to improve their characteristics and reliability. Raman spectroscopy is known to measure surface stress of silicon without contacts and damages, but it cannot...
 
J032024 Al/Ni発熱素材による瞬間はんだ接着法 : クラックレス接着の試み
松田 隆紀   森角 寿之   生津 資大   井上 尚三   
年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan   2012 "J032024-1"-"J032024-4"   2012年9月
In this article, a new low-temperature solder bonding technique using Al/Ni exothermic reactive film is described. Al/Ni reactive film is able to generate heat enough to melt solder film. During the reaction, the volume is definitely shrunk by 12%...
 
J032011 FIB加工されたナノ構造体の力学特性評価技術の開発
藤井 達也   須藤 孝一   生津 資大   井上 尚三   
年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan   2012 "J032011-1"-"J032011-4"   2012年9月
In this article, the development of mechanical characteristics evaluation technique for FIB-processed nanostructures is described. We designed the on-chip tensile testing device, which consists of a nano-specimen, electrostatic actuator for stretc...
 
3次元立体配向SHG顕微鏡を用いた応力負荷に伴う繊維状タンパク質のマイクロ力学試験
吉木啓介   井上尚三   生津資大   
中谷医工計測技術振興財団年報   (26) 73-79   2012年8月   
 
7D43 小角X線散乱およびSHG顕微鏡観察下における電気化学法生成コラーゲンの引張試験(GS10 生体計測(光計測))
五網 信貴   吉木 啓介   宮田 篤志   生津 資大   井上 尚三   
バイオエンジニアリング講演会講演論文集   2012(24) "7D43-1"-"7D43-2"   2012年1月

担当経験のある科目(授業)

 
 
   
 
機械設計製図 (兵庫県立大学)
 
   
 
メカトロニクス (兵庫県立大学)
 
   
 
機械材料学 (兵庫県立大学)

所属学協会

 
 
   
 
精密工学会
 
   
 
American Vacuum Society
 
   
 
応用物理学会
 
   
 
日本金属学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

123>
 
 
相変態を利用した２次元応力分布記録メディアとしてのステンレス薄膜
日本学術振興会: 科学研究費助成事業
井上 尚三 
研究期間: 2019年4月 - 2023年3月
 
研究期間: 2015年 - 2017年
 
研究期間: 2011年 - 2013年
 
研究期間: 2008年 - 2010年
 
研究期間: 2002年 - 2004年
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