コンテンツエリアへログイン
 
言語の選択：
 

メニュー/MENU

トップページ
大学本部国際商経学部社会情報科学部工学研究科
電気物性工学専攻   電子情報工学専攻    機械工学専攻  材料・放射光工学専攻 応用化学専攻   化学工学専攻
理学研究科環境人間学部看護学部情報科学研究科社会科学研究科緑環境景観マネジメント研究科地域資源マネジメント研究科減災復興政策研究科政策科学研究所高度産業科学技術研究所自然・環境科学研究所地域ケア開発研究所先端医療工学研究所総合教育機構学術総合情報センター地域創造機構産学連携・研究推進機構

▶大学ホームページに戻る

▶Return to University HOME

 

研究者業績

研究者リスト >> 井上 尚三
 

井上 尚三

 
アバター
研究者氏名井上 尚三
 
イノウエ シヨウゾウ
URL
所属兵庫県立大学
部署大学院 工学研究科
職名教授
学位工学博士(大阪大学)
J-Global ID200901074234127570

研究キーワード

 
スパッタリング ,薄膜

研究分野

 
  • ナノテク・材料 / 材料加工、組織制御 / 

経歴

12>
 
2004年4月
 - 
現在
兵庫県立大学 工学研究科 教授 
 
2003年10月
 - 
2004年3月
姫路工業大学 工学部 教授 
 
1998年4月
 - 
2003年9月
姫路工業大学 工学部 助教授 
 
1996年10月
 - 
1998年3月
姫路工業大学 工学部 講師 
 
1987年4月
 - 
1996年9月
姫路工業大学 工学部 助手 
 

学歴

 
1984年4月
 - 
1987年4月
大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 博士後期課程
 
1982年4月
 - 
1984年3月
大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 博士前期課程
 
1978年4月
 - 
1982年3月
大阪大学 工学部 精密工学科
 

委員歴

 
2020年
 - 
現在
精密工学会関西支部  商議員
 
2012年
 - 
現在
精密工学会  超精密加工専門委員会幹事
 
2009年
 - 
現在
精密工学会  校閲協力委員
 

論文

12345>
 
 
スパッタTi薄膜の成長形態におよぼす成膜条件の影響
永井晋平   村上大志   多田あずみ   井上尚三   
2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集   672-673   2024年3月   
 
二源スパッタリング法によるTi-C薄膜の作製
岡田響   森川直人   部家彰   井上尚三   
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集   668-669   2023年9月   
 
Cuバッファ層上でのγ相SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜の成長形態
井上達裕   朝田昂大   井上尚三   
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集   664-665   2023年9月   
 
Deposition of W-C films by dual source dc magnetron sputtering
Shozo Inoue   Naoto Morikawa   Akira Heya   Takahiro Namazu   
Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE2022, Nara)   C132   2022年11月   [査読有り]
 
二源スパッタリング法によるW-C薄膜の作製
森川直人   分銅亮介   部家彰   生津資大   井上尚三   
2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集   221-222   2022年9月

MISC

<7891011>
 
 
332 Ti-Ni 合金の形状記憶特性に及ぼす水素の影響
冨士川 満   小寺澤 啓司   井上 尚三   浅井 真人   宮崎 修一   
学術講演会講演論文集   48 295-296   1999年
 
Effect of argon and nitrogen partial pressure on internal stress, resistivity and structure of reactive sputtered TiN films (共著)
Proc. the 9th Int. Conf. on Production Engineering (Osaka)   624   1999年   
 
218 磁気力を利用したα'マルテンサイト測定装置の試作
松田 健志   井上 尚三   石垣 博行   小寺澤 啓司   
学術講演会講演論文集   47 75-76   1998年
 
219 オーステナイト系ステンレス鋼における水素誘起マルテンサイトの生成挙動
小寺澤 啓司   井上 尚三   松田 健志   石垣 博行   
学術講演会講演論文集   47 77-78   1998年
 
Dynamic process control of rf reactive sputtering by monitoring plasma emission intensity
S Inoue   H Uchida   T Ohba   K Koterazawa   A Chayahara   M Terasawa   
JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF METALS   61(10) 1108-1114   1997年10月   
The process of rf reactive magnetron sputtering is suitable for depositing TiN films, because of its applicability for large-area processing. This process, however, shows the so-called hysteresis when the reactive gas is controlled by constant flo...

担当経験のある科目(授業)

 
 
   
 
機械設計製図 (兵庫県立大学)
 
   
 
メカトロニクス (兵庫県立大学)
 
   
 
機械材料学 (兵庫県立大学)

所属学協会

 
 
   
 
精密工学会
 
   
 
American Vacuum Society
 
   
 
応用物理学会
 
   
 
日本金属学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

123>
 
 
相変態を利用した２次元応力分布記録メディアとしてのステンレス薄膜
日本学術振興会: 科学研究費助成事業
井上 尚三 
研究期間: 2019年4月 - 2023年3月
 
研究期間: 2015年 - 2017年
 
研究期間: 2011年 - 2013年
 
研究期間: 2008年 - 2010年
 
研究期間: 2002年 - 2004年
Powered by NetCommons2 The NetCommons Project