研究者業績
研究キーワード
強誘電体メモリ
,走査型プローブ顕微鏡
,MOCVD法
,強誘電体薄膜
,ferroelectric random access memories
,scanning probe microscopy
,metalorganic chemical vapor deposition
,ferroelectric thin films
経歴
2018年
-
現在
兵庫県立大学 大学院工学研究科電子情報工学専攻 教授
2008年
-
2018年
兵庫県立大学大学院工学研究科准教授
2006年
-
2008年
兵庫県立大学大学院工学研究科助教
2006年
-
2008年
Assistant Professor, Graduate School of Engineering, University of Hyogo
2008年
- Associate Professor, Graduate School of Engineering, University of Hyogo
論文
Seiji Nakashima   Ryu Hayashimoto   Hironori Fujisawa   Masaru Shimizu   
Japanese Journal of Applied Physics 57(11) 2018年11月 [査読有り]
© 2018 The Japan Society of Applied Physics. Pt/1-μm-thick Bi1.0Fe0.99Mn0.01O3 (BFMO)/Pt coplanar capacitors with an interelectrode distance of 260 μm have been fabricated on vicinal SrTiO3 (STO) (001) substrates by radio frequency magnetron sputt...
Masafumi Kobune   Takuya Nishimine   Takuya Matsunaga   Satoshi Fujita   Takeyuki Kikuchi   Hironori Fujisawa   Masaru Shimizu   Kensuke Kanda   Kazusuke Maenaka   
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56(10) 2017年10月 [査読有り]
Regardless of the deposition time (30-90 min), almost single-phase magnetite (Fe3O4) films with a cubic inverse-spinel structure were produced at a substrate temperature of 500 degrees C by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD). The Fe3O4...
Hironori Fujisawa   Nao Yoshimura   Seiji Nakashima   Masaru Shimizu   
Japanese Journal of Applied Physics 56(10) 2017年10月 [査読有り]
© 2017 The Japan Society of Applied Physics. Metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) is one of the suitable techniques for practical applications of BiFeO3 films. To develop the potential of MOCVD as a device fabrication process, we investi...
Seiji Nakashima   Shota Seto   Yuta Kurokawa   Hironori Fujisawa   Masaru Shimizu   
Japanese Journal of Applied Physics 56(10) 2017年10月 [査読有り]
© 2017 The Japan Society of Applied Physics. Recently, new functionalities of ferroelectric domain walls (DWs) have attracted much attention. To realize novel devices using the functionalities of the DWs, techniques to introduce the DWs at arbitra...
Seiji Nakashima   Osami Sakata   Hiroshi Funakubo   Takao Shimizu   Daichi Ichinose   Kota Takayama   Yasuhiko Imai   Hironori Fujisawa   Masaru Shimizu   
Applied Physics Letters 111(8) 2017年8月 [査読有り]
© 2017 Author(s). Time-resolved X-ray diffraction (XRD) with synchrotron radiation while applying continuous voltage pulses was employed to investigate the electric-field-induced lattice distortion of an epitaxial BiFeO3 (BFO) thin film in a Pt/BF...
MISC
藤沢 浩訓   中嶋 誠二   清水 勝   
豊田研究報告 63(63) 135-139 2010年
藤沢 浩訓   中嶋 誠二   清水 勝   丹生 博彦   
電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 98(591) 13-20 2009年2月
MOCVD-Pb(Zr,Ti)O_3(PZT)薄膜のグレインサイズを, Ir下部電極のグレインサイズおよびPZT薄膜の成長速度を変化させることで制御することができた。Ir/PZT/Irキャパシタにおいては, Ir下部電極のグレインサイズが50nmから200nmまで増加するのに伴い, PZT薄膜のグレインサイズも120nmから240nmまで増加した。グレインサイズの増加とともに比誘電率, 残留分極は増加し, 抗電界は減少した。このような電気的特性のグレインサイズ依存性はバルクセラミックスにお...
藤沢 浩訓   清水 勝   
電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会 2007(9) 1-6 2007年7月
清水 勝   野々村 哉   藤沢 浩訓   丹生 博彦   本田 耕一郎   
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 104(713) 23-27 2005年3月
MOCVD法によりPbTiO_3ナノ構造をPt/SiO_2/Si(100)及びPt/SrTiO_3(111)、(101)、(001)上に作製した。PbTiO_3はこれらの基板上では、Volmer-Weber成長モードにより成長し、成長初期には自己集合的にナノサイズの島構造が形成される。Pt/SiO_2/Si上では面内方向の揃っていないナノ構造が形成された。しかし、Pt/SrTiO_3上では、面内方向の揃ったナノ構造が形成され、基板の面方位により形状の異なったナノ構造が形成された。形成された...
野々村 哉   藤沢 浩訓   清水 勝   丹生 博彦   本田 耕一郎   
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 103(729) 31-36 2004年3月
MOCVD法により、Pt/SrTiO_3およびMgO(111),(110),(100)基板上へPbTiO_3自己集合島を形成した。それぞれのPbTiO_3島の形状は、(1ll)基板上で三角錐、(110)基板上で三角柱、(100)基板上で四角い板状であった。また、これらのPbTiO_3島の面内方位が揃っていることがわかった。このことは、エピタキシャル関係を利用することでPbTiO_3自己集合島の形状や面内方位などの構造制御が可能であることを示している。また、圧電応答測定の結果、これらのナノサ...
書籍等出版物
Springer 2005年 (ISBN:3540241639)
Kluwer Academic Publishers 2003年 (ISBN:1402076304)
講演・口頭発表等
尾内惇平   畑駿亮   大島元太   藤沢浩訓   中嶋誠二   
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2022年
加藤廉   中嶋誠二   藤沢浩訓   木村耕治   八方直久   ANG A. K. R.   加藤達也   山本裕太   林好一   
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2022年
伊藤達也   中嶋誠二   藤沢浩訓   大河内拓雄   
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2021年
尾内惇平   藤沢浩訓   中嶋誠二   
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2021年
加藤廉   中嶋誠二   藤沢浩訓   
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2021年
所属学協会
Materials Research Society of Japan