春山雄一

研究者氏名	春山雄一
	ハルヤマユウイチ
URL	http://www.lasti.u-hyogo.ac.jp/index.html
所属	兵庫県立大学
部署	高度産業科学技術研究所
職名	准教授
学位	博士(理学)(筑波大学)
J-Global ID	200901034233774987

研究キーワード

表面科学

研究分野

自然科学一般 / 半導体、光物性、原子物理 /

経歴

2004年

2011年

兵庫県立大学高度産業科学技術研究所助教

1999年

2004年

姫路工業大学高度産業科学技術研究所助手

1997年

1998年

岡崎国立共同研究機構分子科学研究所極端紫外光実験施設非常勤研究員

学歴

1997年

筑波大学物理学研究科物理学

1992年

東京理科大学理学部物理学

委員歴

12 >

2018年4月

2021年3月

日本表面真空学会関西支部役員

2017年4月

2018年3月

日本表面科学会関西支部委員

2013年

2014年

電気学会量子ビームによるナノバイオサイエンス技術調査専門委員会

2010年

2012年

電気学会量子ビームによるナノバイオ物理応用調査専門委員会

2008年

2010年

電気学会量子ビームによるナノバイオエレクトロニクス技術調査専門委員会

論文

<5 678 9 >

Synchrotron radiation absorption spectroscopy to enhance photoresists

Takeo Watanabe Kazuya Emura Yuichi Haruyama Tetsuo Harada Yasuji Muramatsu Hiroo Kinoshita Daiju Shiono Katsumi Ohmori Kazufumi Sato

SPIE Newsroom 2014年4月

脱保護反応に起因した膜減り量評価による化学増幅系EUV用レジストの反応解析

江村和也渡邉健夫山口太都谷野寛仁福井翼塩野大寿春山雄一村松康司大森克実佐藤和史原田哲男木下博雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.1 1493-1493 2014年3月

Molecular Orientation at the Near-Surface of Photoaligned Films Determined by NEXAFS

Nobuhiro Kawatsuki Yonosuke Inada Mizuho Kondo Yuichi Haruyama Shinji Matsui

MACROMOLECULES 47(6) 2080-2087 2014年3月 [査読有り]

Because of the potential for use in display applications, photoalignment using photosensitive materials has received considerable attention. Herein, the influence of film thickness on thermally stimulated photoinduced molecular reorientation struc...

Effect of Fluorosurfactant contained in Resin for Anti-sticking Layer Free UV Nanoimprinting

Takahiro Oyama Makoto Okada Shuso Iyoshi Yuichi Haruyama Tsuneo Yamashita Shinji Matsui

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 27(1) 117-120 2014年 [査読有り]

Chemical Patterns Fabricated by Nanoimprinting for Block Copolymer Directed Self-Assembly

Hitomi Wakaba Makoto Okada Syuso Iyoshi Yuichi Haruyama Shinji Matsui

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 27(1) 99-102 2014年 [査読有り]