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研究者業績

研究者リスト >> 天野 壮
 

天野 壮

 
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研究者氏名天野 壮
 
アマノ ショウ
URLhttp://www.lasti.u-hyogo.ac.jp
所属兵庫県立大学
部署高度産業科学技術研究所 光量子システム
職名助教
学位修士(工学)(電気通信大学), 博士(工学)(電気通信大学)
J-Global ID200901049519575105

研究キーワード

 
レーザー ,Laser

研究分野

 
  • ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学 / 

論文

 
 
Kanta Yamamoto   Yuichi Utsumi   Ikuya Sakurai   Ikuo Okada   Kenji Hanada   Hidehiro Ishizawa   Masahiro Takeo   Taki Watanabe   Sho Amano   Satoru Suzuki   Koji Sumitomo   Akinobu Yamaguchi   
Journal of Vacuum Science & Technology B   41(6)    2023年10月   [査読有り]
We have completed a system that can achieve both deep x-ray lithography and submicron x-ray lithography with a single beamline by introducing the combination of x-ray plane and cylindrical mirrors. This x-ray lithography system can provide a large...
 
Mana Honkawa   Isao Kawaji   Sho Amano   Akimobu Yamaguchi   Masahiro Takeo   Yuichi Utsumi   
Journal of Photopolymer Science and Technology   36(1) 19-23   2023年6月
 
T. Tanaka   S. Saegusa   M. Naya   T. Fukuoka   Y. Utsumi   S. Amano   A. Yamaguchi   
35(3) 249-253   2022年   [査読有り]
 
A. Yamaguchi   A. Ishimoto   S. Saegusa   M. Sugiyama   S. Amano   Y. Utsumi   
Sensors and Actuators   12(12) 4371-4382   2021年11月   [査読有り]
 

MISC

 
 
宮本修治   堀川賢   戸中大輔   天野壯   橋本智   望月孝晏   宇都宮弘章   秋宗秀俊   山県民穂   嶋達志   静間俊行   早川岳人   LI D.   今崎一夫   浅野芳裕   大熊春夫   
日本物理学会講演概要集   65(2)    2010年
 
天野壮   井上智章   脇坂勇輝   原田哲男   
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   71st    2010年
 
磯田 伸哉   松尾 直人   天野 壮   部家 彰   宮本 修治   望月 孝晏   
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   109(321) 73-77   2009年11月
LPXを照射したa-Si膜を、ラマン分光法、分光エリプソメトリ、ESRを用いて解析した。LPX照射によりa-Si膜上部の屈折率、消衰係数、膜中のダングリングボンド数が変化していることが分かった。このことから擬似結晶核を形成するエンブリオの形成について議論する。また、全過程におけるLPX照射による低温結晶化についても擬似結晶核の生成と関連付けて議論する。
 
天野 壮   増田 和也   井上 智章   宮本 修治   望月 孝晏   
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会   2009(42) 11-14   2009年5月
 
堀川 賢   宮本 修治   天野 壯   望月 孝晏   坂井 信彦   小泉 昭久   李 大治   今崎 一夫   早川 岳人   静間 俊行   嶋 達志   藤原 守   宇都宮 弘章   秋宗 秀俊   浅野 芳裕   大熊 春夫   
日本物理学会講演概要集   64(1) 110-110   2009年3月

講演・口頭発表等

 
 
村田求基   秋宗秀俊   足立智   天野壮   石井祐季   稲葉健斗   川畑貴裕   津村美保   藤川佑輝   古野達也   宮本修治   
日本物理学会 2022年秋季大会   2022年9月   
 
M. Murata   H. Akimune   S. Adachi   S. Amano   Y. Ishii   K. Inaba   H. Utsunomiya   T. Kawabata   M. Tsumura   Y. Fujikawa   T. Furuno   S. Miyamoto   
2022年7月   
 
T. Tanaka   S. Saegusa   M. Naya   T. Fukuoka   Y. Utsumi   S. Amano   A. Yamaguchi   
2022年6月   

所属学協会

 
 
   
 
米国光学会(OSA)
 
   
 
レーザー学会
 
   
 
応用物理学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

 
 
固体希ガスを用いたレーザープラズマによるX線レーザーの研究
日本学術振興会: 科学研究費助成事業
天野 壮 
研究期間: 2017年4月 - 2023年3月
 
直線偏光ガンマ線で生成された中性子非対称性測定による新しいプローブ
日本学術振興会: 科学研究費助成事業
早川 岳人 梶野 敏貴 静間 俊行 緒方 一介 宮本 修治 菊地 右馬 天野 壮 
研究期間: 2015年4月 - 2018年3月
 
固体アルゴンを用いた「水の窓」3nm帯連続発生軟X線源の研究
日本学術振興会: 科学研究費助成事業
天野 壮 宮本 修治 
研究期間: 2014年4月 - 2018年3月
 
研究期間: 2011年4月 - 2015年3月
 
高効率レーザープラズマ光源と微細加工・組織制御への応用に関する研究
日本学術振興会: 科学研究費助成事業
望月 孝晏 宮本 修治 内海 裕一 天野 壮 
研究期間: 2009年 - 2011年