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研究者業績
研究者リスト
>>
部家 彰
編集
部家 彰
研究者氏名
部家 彰
ヘヤ アキラ
URL
http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/outline/faculty/heya/index.html
所属
兵庫県立大学
部署
大学院 工学研究科 材料・放射光工学専攻
職名
准教授
学位
材料科学(北陸先端科学技術大学院大学)
J-Global ID
200901019380365490
研究キーワード
原子状水素アニール
,
原子状水素
,
グラフェンナノリボン
,
触媒
,
化学気相成長
,
グラフェン
,
2次元材料
,
構造解析
,
半導体薄膜
研究分野
エネルギー / 量子ビーム科学 /
ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 反応工学、プロセスシステム工学 /
ナノテク・材料 / 複合材料、界面 /
ナノテク・材料 / ナノ構造物理 /
ナノテク・材料 / 無機材料、物性 /
経歴
2008年4月
-
現在
兵庫県立大学大学院 工学研究科 准教授
2005年7月
-
2008年3月
兵庫県立大学大学院 工学研究科 助教
2000年4月
-
2005年6月
石川県工業試験場 電子情報部 技師
学歴
-
2000年
北陸先端科学技術大学院大学 材料科学研究科 物性科学専攻
-
1995年
鳴門教育大学 学校教育学部 自然系Ⅱ(理科)専攻
委員歴
2017年
-
現在
HWCVD プログラム委員
2016年
-
現在
SSDM プログラム委員
2007年
-
現在
Cat-CVD研究会 実行委員
2006年
-
現在
AMFPD プログラム委員
2020年4月
表面真空学会関西支部
論文
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4
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6
7
>
Review—Technology Trends of Poly-Si TFTs from the Viewpoints of Crystallization and Device Performance
N. Matsuo   A. Heya   H. Hamada   
ESC Transactions 8(3) 1-14 2019年
[査読有り]
Remova of carbon contamination on oxidation-prone metal-coated mirrors using atomic hydrogen
Niibe Masahito   Harada Tetsuo   Heya Akira   Watanabe Takeo   Matsuo Naoto   
13TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION (SRI2018) 2054 2019年
[査読有り]
Low-temperature activation of boron ion in silicon substrate using B10H14+ cluster and by soft X-ray irradiation
A. Heya   N. Matsuo   K. Kanda   
Jpn. J. Appl. Phys. 57(11) 116502-116502 2018年
[査読有り]
Guidelines for bottom-up approach of nanocarbon film formation from pentacene using heated tungsten on quartz substrate without metal catalyst
A. Heya   Naoto Matsuo   
Jpn. J. Appl. Phys. 57 04FL03 2018年
[査読有り]
Large single-crystal Ge-on-insulator by thermally-assisted (~400 ℃) Si-seeded-pulse-laser annealing
T. Sadoh   M. Kurosawa   A. Heya   N. Matsuo   M. Miyao   
Materials Science in Semiconductor Processing 70 8-11 2017年11月
[査読有り]
MISC
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5
>
脂質二分子膜のプロトン透過の評価
吉馴悠人   吉水寛人   乾徳夫   大嶋梓   山口真澄   部家彰   住友弘二   
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
原子状水素照射による深さ方向分析
春山雄一   森本大貴   部家彰   住友弘二   伊藤省吾   横田久美子   田川雅人   
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 35th 2022年
Biotin-Streptavidin相互作用による膜融合の制御
門林大矢   橋野開   大嶋梓   山口真澄   部家彰   住友弘二   
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 82nd 2021年
半導体基板/脂質二分子膜界面におけるイオンリークの抑制
土井響   吉水寛人   乾徳夫   樫村吉晃   大嶋梓   山口真澄   部家彰   住友弘二   
電気学会研究会資料(Web) (OQD-21-065-071) 2021年
原子状水素を用いた固体表面クリーニングへの応用
春山雄一   部家彰   住友弘二   伊藤省吾   
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 34th 2021年
書籍等出版物
1
2
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これからの蓄・省エネルギー材料の開発における機能性付与技術
部家 彰(担当:分担執筆, 範囲:第7章1節 有機EL用水蒸気バリア膜の形成)
技術情報協会 2013年5月
ロールtoロール事例集~プロセス応用に向けた技術課題と対策~
部家 彰(担当:分担執筆, 範囲:第1章2節 Cat-CVDのRoll to Rollプロセスの優位性と課題)
情報機構 2011年3月
ディスプレイと照明の材料技術 ~液晶・プラズマ・有機EL・無機EL・LED・プロジェクター
部家 彰(担当:分担執筆, 範囲:第4章12節 有機ELの保護膜形成技術)
CMC出版 2010年3月
触媒CVD(Cat-CVD)の新展開 -ラジカルを用いる新プロセス技術-
部家 彰(担当:分担執筆, 範囲:第2章4節 ロールツーロール型Cat-CVD装置)
CMC出版 2008年10月
ドライプロセスによるディスプレイ・光学部材における具体的な薄膜製造コーティング技術
部家 彰(担当:分担執筆, 範囲:第4章5節 有機ELの保護膜形成技術)
情報機構 2007年8月
講演・口頭発表等
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AlOx/GeOx/a-Ge ゲートスタック構造への原子状水素アニールの効果
大貫 智史   部家 彰   松尾 直人   
第65回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 2019年
DNA/Si‐MOSFETの正孔,電子伝導に関する検討
中野響   松尾直人   部家彰   山名一成   高田忠雄   佐藤旦   横山新   
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年3月5日
ペンタセンとNi担持Wメッシュを用いたナノカーボン膜の作製
部家彰   山崎良   松尾直人   
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年3月5日
AlO
x
/GeO
x
/a‐Geゲートスタック構造への原子状水素アニールの効果
大貫智史   部家彰   松尾直人   
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年3月5日
Ge薄膜のFLA結晶化におけるキャップ層の効果
秋田佳輝   部家彰   松尾直人   小濱和之   伊藤和博   
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年3月5日
担当経験のある科目(授業)
材料計測制御工学 (兵庫県立大学)
材料計測学 (兵庫県立大学)
半導体工学Ⅱ (兵庫県立大学)
電磁気学 (兵庫県立大学)
所属学協会
2021年4月
日本表面真空学会
応用物理学会
共同研究・競争的資金等の研究課題
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マイクロウエル架橋膜と生物小胞の融合による内容物解析基盤
日本学術振興会: 科学研究費助成事業住友 弘二 山口 明啓 湊元 幹太 部家 彰 大嶋 梓 
研究期間: 2022年4月 - 2026年3月
水素と加熱触媒体を用いた2次元芳香族化合物創製とスピンデバイス応用
日本学術振興会: 科学研究費助成事業 基盤研究(C)部家 彰 
研究期間: 2022年4月 - 2025年3月
原子状水素を用いたEUV光用光学素子の表面汚染物の除去
姫路市奨学学術振興基金: 産学協同研究助成部家 彰 
研究期間: 2019年8月 - 2020年3月
原子状水素アニールによる表面汚染物除去
公益財団法人 谷川熱技術振興基金: 研究助成金部家 彰 
研究期間: 2018年10月 - 2019年9月
ホットメッシュ法によるグラフェンオンペンタセンの創製とその相対論的粒子の移動機構
日本学術振興会: 科学研究費助成事業 基盤研究(C)部家 彰 松尾 直人 
研究期間: 2015年4月 - 2018年3月
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