東 欣吾

<p>A novel droplet generator equipped with flow-control has been developed for the formation of various liquid droplets. Two fast falling droplets with small angle are collided in air and are formed one droplet, which gets out of its shape from various type of oval to ball in falling by convection inside a small droplet. Water and ethanol are used as two different falling liquids.</p>

物理的蒸着法の一つであるスパッタリング法は緻密で密着力が高い薄膜の形成技術として期待されている。これらの特徴はイオン化したスパッタ粒子の関与が大きいため、スパッタ粒子をより多くイオン化することが望まれる。これを実現する手法の一つがスパッタ源に高電圧パルスを印加する大電力パルススパッタ(HPPS)放電である。本講演では、HPPS放電プラズマの特徴やそれを用いた薄膜形成の現状について報告する。

噴流を用いた技術は様々な場面で活用され,なかでもアブレシブジェットは切削加工や表面研磨に用いられている.しかし,アブレシブジェットを積極的に脈動させる事例の報告は少なく,その効果は明らかではない.そこで,流路に設置したピエゾアクチュエータに超音波領域のパルス電圧を印加してジェット脈動,液滴化させた.今回は脈動させたアブレシブジェットが研磨面に及ぼす影響について実験的に調べた結果を報告する.

A novel droplet generator equipped with flow-control has been developed for the formation of molten tin droplets. The piston with a piezoelectric crystal enables us to change the flow resistance in a narrow gap region between a liquid vessel and a nozzle, resulting in the variation of the flow velocity at a high repetition rate. The formation of tin droplets using this generator was demonstrated in a wide frequency region from 16 to 59kHz using a 50|im nozzle, which lies with the range of 3.9<λ/d<14. The separation of the piezoelectric crystal and the nozzle in this droplet generator is quite suitable for high-temperature liquids such as molten tin and for harsh environments such as those in vacuum.

アブレシブジェット加工は幅広い材質に対応する一方で,水撃力に対する制御性に乏しい.そこで本研究では,供給水の流路にピエゾアクチュエータを挿入し,流路を一定周波数で振動させることで水撃力を制御する手法について検討を行った.実験の結果,ピエゾアクチュエータへの印加電圧が増加すると加工深さが減少し,水撃力を制御できる可能性があることを確認したので報告する.