研究者業績
基本情報
論文
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IEEE Transactions on Plasma Science 49(1) 53-60 2021年1月1日
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DIAMOND AND RELATED MATERIALS 101 2020年1月 査読有り
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PLASMA AND FUSION RESEARCH 14 2019年6月 査読有り
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VACUUM 157 192-201 2018年11月 査読有り
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NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS 433 87-92 2018年10月 査読有り
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57(6) 2018年6月 査読有り
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Diamond and Related Materials 77 122-130 2017年8月 査読有り
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IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE 44(12) 3083-3090 2016年12月 査読有り
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IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE 44(12) 3201-3206 2016年12月 査読有り
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SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 307 1053-1058 2016年12月 査読有り
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NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS 365 155-158 2015年12月 査読有り
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Journal of Physics: Conference Series 518(1) 2014年 査読有り
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11TH APCPST (ASIA PACIFIC CONFERENCE ON PLASMA SCIENCE AND TECHNOLOGY) AND 25TH SPSM (SYMPOSIUM ON PLASMA SCIENCE FOR MATERIALS) 441(1) 2013年 査読有り
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電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 132(4) 272-277 2012年4月1日
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IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE 39(11) 3125-3132 2011年11月 査読有り
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SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 206(5) 938-942 2011年11月 査読有り
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NEW TREND IN APPLIED PLASMA SCIENCE AND TECHNOLOGY 1282 92-+ 2010年 査読有り
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IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE 37(7) 1178-1188 2009年7月 査読有り
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Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 267(8-9) 1692-1695 2009年5月1日 査読有り
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SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 201(15) 6561-6564 2007年4月 査読有り
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Thin Solid Films 506-507 68-72 2006年5月26日 査読有り
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Plasma and Fusion Research 1 48-48 2006年A bright optical emission inside a trench in a solid object was observed during a diamond-like carbon (DLC) deposition process, with the DLC deposition rate being more than two-times faster on the trench's bottom than that on the top of the trench. We found that the secondary electrons inside the trench played an important role in the higher DLC deposition rate on the trench's bottom.
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Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi) 148(4) 9-16 2004年9月 査読有り
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Measurement of residual stress in DLC films prepared by plasma-based ion implantation and depositionSurface and Coatings Technology 186(1-2 SPEC. ISS.) 141-145 2004年8月2日 査読有り
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Surface and Coatings Technology 186(1-2 SPEC. ISS.) 200-203 2004年8月2日 査読有り
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Surface and Coatings Technology 169-170 359-362 2003年6月2日 査読有り
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Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 206 696-699 2003年5月 査読有り
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Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 206 700-703 2003年5月 査読有り
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IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials 123(6) 574-580 2003年 査読有り
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電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 123(8) 744-749 2003年 査読有り
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IEEE Transactions on Plasma Science 30(5 I) 1800-1805 2002年10月 査読有り
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Surface and Coatings Technology 156(1-3) 301-305 2002年7月1日 査読有り
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Surface and Coatings Technology 156(1-3) 166-169 2002年7月1日 査読有り
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Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 41(1) 399-404 2002年 査読有り
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Surface and Coatings Technology 136(1-3) 207-210 2001年2月2日 査読有り
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Surface and Coatings Technology 136(1-3) 223-225 2001年2月2日 査読有り
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Surface and Coatings Technology 136(1-3) 269-272 2001年2月2日 査読有り
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Surface and Coatings Technology 136(1-3) 93-96 2001年2月2日 査読有り
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Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 40(2 B) 1083-1086 2001年2月 査読有り
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Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 40(2 B) 992-994 2001年2月 査読有り
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IEEE International Conference on Plasma Science 2 1344-1347 2001年 査読有り
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Vacuum 59(1) 330-337 2000年10月 査読有り
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IEEE International Conference on Plasma Science 274 2000年 査読有り
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IEEE International Conference on Plasma Science 205 2000年 査読有り
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2000 13th International Conference on High-Power Particle Beams, BEAMS 2000 94-97 2000年 査読有り
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2000 13th International Conference on High-Power Particle Beams, BEAMS 2000 373-376 2000年 査読有り
MISC
96-
電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan 2019(95) 13-16 2019年10月25日
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電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan 2019(41) 55-58 2019年5月16日