研究者リスト 東 欣吾 東 欣吾あずま きんご (Kingo Azuma) ダウンロードする帳票の形式を下記より選択して下さい 「教育研究等環境」形式 「文科省帳票様式第4号 ①履歴書」形式 「文科省帳票様式第4号 ②教育研究業績書」形式 基本情報 所属兵庫県立大学 工学研究科電気物性系工学専攻 助教J-GLOBAL ID201801007461664558researchmap会員IDB000326969 研究分野 1 ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電力工学 / 論文 61 Titanium Silicon Nitride Films with Low Silicon Content Deposited via Reactive High-Power Pulsed Sputtering Penning Discharge Takashi Kimura, Ryo Yoshida, Kingo Azuma IEEE Transactions on Plasma Science 49(1) 53-60 2021年1月1日 Preparation of silicon-doped diamond-like carbon films with electrical conductivity by reactive high-power impulse magnetron sputtering combined with a plasma-based ion implantation system Yuki Shibata, Takashi Kimura, Setsuo Nakao, Kingo Azuma DIAMOND AND RELATED MATERIALS 101 2020年1月 査読有り Effect of a Magnetic Filter Across the Exit Hole of a Flat Oxygen Plasma Source Norihiro Kodama, Haruhiko Himura, Kingo Azuma, Katsuyoshi Tsumori, Haruhisa Nakano PLASMA AND FUSION RESEARCH 14 2019年6月 査読有り Preparation of titanium carbon nitride films by reactive high power pulsed sputtering Penning discharges Takashi Kimura, Ryo Yoshida, Kingo Azuma, Setsuo Nakao VACUUM 157 192-201 2018年11月 査読有り Plasma based nitrogen ion implantation to hydrogenated diamond-like carbon films Takashi Kimura, Hidekazu Yanai, Setsuo Nakao, Kingo Azuma NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS 433 87-92 2018年10月 査読有り もっとみる MISC 96 不平衡型HiPIMSを用いたMoN成膜にバースト状パルス基板バイアス電圧が及ぼす影響 東欣吾, 金田和彦, 田中達也, 岡好浩 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2021 2021年 LC直列共振による誘導結合プラズマの生成 東欣吾, 西川晶, 岡好浩 電気学会研究会資料 (EPP-20-046-055.057-058) 2020年 ペニング型パルススパッタによるタンタルプラズマ源の放電特性 (放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー一般) 東 欣吾, 齋藤 巧 電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan 2019(95) 13-16 2019年10月25日 誘導性エネルギー蓄積型パルス電圧発生器を用いた音速流に対するガス放電の予備実験 (放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー技術一般) 東 欣吾, 谷口 学史, 岡 好浩 電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan 2019(41) 55-58 2019年5月16日 パルススパッタペニング放電による熱可塑性樹脂基板上への窒化チタン薄膜の作製 東欣吾, 永井僚, 田中達也, 岡好浩 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2019 2019年 もっとみる 書籍等出版物 1 プラズマイオンプロセスとその応用 電気学会, 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会 オーム社 2005年10月 (ISBN: 4274201236) 所属学協会 1 電気学会 産業財産権 38 特願2000-223073 生体用インプラント部材 特願平10-142465 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 特願平10-071924 磁気フィルタ 特願平09-304037 プラズマ生成加速装置 特願平09-204335 ガス処理装置 もっとみる
東 欣吾あずま きんご (Kingo Azuma) ダウンロードする帳票の形式を下記より選択して下さい 「教育研究等環境」形式 「文科省帳票様式第4号 ①履歴書」形式 「文科省帳票様式第4号 ②教育研究業績書」形式 基本情報 所属兵庫県立大学 工学研究科電気物性系工学専攻 助教J-GLOBAL ID201801007461664558researchmap会員IDB000326969 研究分野 1 ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電力工学 / 論文 61 Titanium Silicon Nitride Films with Low Silicon Content Deposited via Reactive High-Power Pulsed Sputtering Penning Discharge Takashi Kimura, Ryo Yoshida, Kingo Azuma IEEE Transactions on Plasma Science 49(1) 53-60 2021年1月1日 Preparation of silicon-doped diamond-like carbon films with electrical conductivity by reactive high-power impulse magnetron sputtering combined with a plasma-based ion implantation system Yuki Shibata, Takashi Kimura, Setsuo Nakao, Kingo Azuma DIAMOND AND RELATED MATERIALS 101 2020年1月 査読有り Effect of a Magnetic Filter Across the Exit Hole of a Flat Oxygen Plasma Source Norihiro Kodama, Haruhiko Himura, Kingo Azuma, Katsuyoshi Tsumori, Haruhisa Nakano PLASMA AND FUSION RESEARCH 14 2019年6月 査読有り Preparation of titanium carbon nitride films by reactive high power pulsed sputtering Penning discharges Takashi Kimura, Ryo Yoshida, Kingo Azuma, Setsuo Nakao VACUUM 157 192-201 2018年11月 査読有り Plasma based nitrogen ion implantation to hydrogenated diamond-like carbon films Takashi Kimura, Hidekazu Yanai, Setsuo Nakao, Kingo Azuma NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS 433 87-92 2018年10月 査読有り もっとみる MISC 96 不平衡型HiPIMSを用いたMoN成膜にバースト状パルス基板バイアス電圧が及ぼす影響 東欣吾, 金田和彦, 田中達也, 岡好浩 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2021 2021年 LC直列共振による誘導結合プラズマの生成 東欣吾, 西川晶, 岡好浩 電気学会研究会資料 (EPP-20-046-055.057-058) 2020年 ペニング型パルススパッタによるタンタルプラズマ源の放電特性 (放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー一般) 東 欣吾, 齋藤 巧 電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan 2019(95) 13-16 2019年10月25日 誘導性エネルギー蓄積型パルス電圧発生器を用いた音速流に対するガス放電の予備実験 (放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー技術一般) 東 欣吾, 谷口 学史, 岡 好浩 電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan 2019(41) 55-58 2019年5月16日 パルススパッタペニング放電による熱可塑性樹脂基板上への窒化チタン薄膜の作製 東欣吾, 永井僚, 田中達也, 岡好浩 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2019 2019年 もっとみる 書籍等出版物 1 プラズマイオンプロセスとその応用 電気学会, 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会 オーム社 2005年10月 (ISBN: 4274201236) 所属学協会 1 電気学会 産業財産権 38 特願2000-223073 生体用インプラント部材 特願平10-142465 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 特願平10-071924 磁気フィルタ 特願平09-304037 プラズマ生成加速装置 特願平09-204335 ガス処理装置 もっとみる